今日便談談不少研究人員及學生都會使用到的日本電子掃描電鏡相關知識點，即使你們沒有實際操作過，但是其原理及成像操作都應有所掌握。
工作原理：
從燈絲發(fā)射出來的熱電子，受2-30KV電壓加速，經(jīng)兩個聚光鏡和一個物鏡聚焦后，形成一個具有一定能量，強度和斑點直徑的入射電子束，在掃描線圈產(chǎn)生的磁場作用下，入射電子束按一定時間、空間順序做光柵式掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用，從樣品中激發(fā)出的二次電子通過收集，可將向各個方向發(fā)射的二次電子收集起來。這些二次電子經(jīng)加速并射到閃爍體上，使二次電子信息轉(zhuǎn)變成光信號，經(jīng)過光導管進入光電倍增管，使光信號再轉(zhuǎn)變成電信號。這個電信號又經(jīng)視頻放大器放大，并將其輸入到顯像管的柵極中，調(diào)制熒光屏的亮度，在熒光屏上就會出現(xiàn)與試樣上一一對應的相同圖像。入射電子束在樣品表面上掃描時，因二次電子發(fā)射量隨樣品表面起伏程度(形貌)變化而變化。
視頻放大器放大的二次電子信號是一個交流信號，用這個交流信號調(diào)制顯像管柵極電，其結(jié)果在顯像管熒光屏上呈現(xiàn)的是一幅亮暗程度不同的，并反映樣品表面起伏程度(形貌)的二次電子像。掃描電鏡入射電子束在樣品表面上掃描和在熒光屏上的掃描須是“同步”，即用同一個掃描發(fā)生器來控制，這樣就能保證樣品上任一“物點”樣品A點，在顯像管熒光屏上的電子束恰好在A’點即“物點”A與“像點”A’在時間上和空間上一一對應。通常稱“像點”A’為圖像單元。顯然，一幅圖像是由很多圖像單元構(gòu)成的。
日本電子掃描電鏡除能檢測二次電子圖像以外，還能檢測背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發(fā)光等信號圖像。其成像原理與二次電子像相同。
目前的日本電子掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當今十分有用的科學研究儀器。
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